半導體(tǐ)機台的EHM(Equipment Healthy Management)資料是最典型的BigData。每個(gè)機台每分鍾都送出數(shù)以萬計(jì)的數(shù)據，其數(shù)量之大(dà)累積速度之快絕對超乎想象。xEHM 就是為(wèi)了将這些(xiē)最原始、最細微的數(shù)據予以妥善運用使其能結合 SPC (Statistical Process Control, 統計(jì)制(zhì)程管制(zhì))、APC (Advanced Process Control, 先進制(zhì)程控制(zhì), 亦稱 RtR)、YMS (Yield Management Solution,良率提升管理(lǐ)解決方案)、VM (Virtual Metrology,虛拟量測) 等方法，一條龍式滿足工廠管理(lǐ)的需求，達到質量與産能提升的目的。